近日，中微公司臨港產(chǎn)業(yè)化基地啟用儀式在東方芯港舉行。市委常委，臨港新片區(qū)黨工委書記、管委會主任陳金山，市政協(xié)副主席肖貴玉出席活動。

中微公司臨港產(chǎn)業(yè)化基地啟用儀式

    2021年，中微正式啟動了中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地、中微臨港總部和研發(fā)基地的建設(shè)。近日，中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地項目正式投入使用，項目總投資16.7億元，占地157畝，總建筑面積約18萬平方米，配備行業(yè)領(lǐng)先的實驗室、業(yè)界高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室、先進的生產(chǎn)車間及智能化立體倉庫等設(shè)施，可實現(xiàn)生產(chǎn)全程數(shù)字化、智能化管理，為中微最大的生產(chǎn)制造基地。

    中微公司跨足半導(dǎo)體芯片前端制造、先進封裝、發(fā)光二極管生產(chǎn)、MEMS制造以及其他微觀制程的高端設(shè)備領(lǐng)域。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的芯片加工制造及先進封裝，中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備也已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場占據(jù)領(lǐng)先地位。

    中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”）是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設(shè)備公司，為集成電路和泛半導(dǎo)體行業(yè)提供極具競爭力的高端設(shè)備和高品質(zhì)的服務(wù)，是中國國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)先企業(yè)。公司總部位于上海，聚焦亞洲，并為全球的客戶提供技術(shù)和設(shè)備的解決方案。

    作為2019年首批科創(chuàng)板上市企業(yè)，截至2024年6月，中微公司累計申請專利已達(dá)2648項，已獲授權(quán)專利1670項，其中發(fā)明專利占比高達(dá)85.87%，目前累計已有超5000個反應(yīng)臺在國內(nèi)外130多條生產(chǎn)線實現(xiàn)量產(chǎn)和大規(guī)模重復(fù)性銷售。

    中微公司的客戶遍布中國大陸和中國臺灣、新加坡、韓國、德國、意大利等10多個國家和地區(qū)，在全球范圍內(nèi)擁有2000多名員工，其中研發(fā)人員占比接近半數(shù)。

    中微公司累計榮獲百余項知名獎項，在美國TechInsights全球客戶滿意度調(diào)查中，中微公司連續(xù)多年排名位居前列。2023年，公司榮獲“上海市科技進步一等獎”，并還多次入選福布斯中國最具創(chuàng)新力企業(yè)50強榜單。此外，公司兩次榮獲“中國專利金獎”，多次榮獲“中國專利優(yōu)秀獎”“上海市發(fā)明創(chuàng)造專利獎”和“上海市知識產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新獎”等獎項。

    臨港產(chǎn)業(yè)化基地的啟用，將為中微各類設(shè)備生產(chǎn)提供強有力的產(chǎn)能保障，助力中微在全球集成電路設(shè)備市場進一步提升市場占有率。

中微公司臨港產(chǎn)業(yè)化基地

    今年是臨港新片區(qū)揭牌成立五周年，也是“東方芯港”啟動建設(shè)五周年。集成電路是臨港新片區(qū)“4+2+2”前沿產(chǎn)業(yè)體系的核心組成，涵蓋設(shè)計、制造、設(shè)備、核心材料、封裝等完整門類，是臨港投資規(guī)模最大、產(chǎn)業(yè)集聚度最高、產(chǎn)值增長最快的先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)。集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)上產(chǎn)值從2019年的不到3億元到2024年即將突破200億元，用五年時間實現(xiàn)翻六番的增長奇跡。今年上半年，集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)上工業(yè)產(chǎn)值117.3億元，增速274.9%。從集成電路產(chǎn)業(yè)的細(xì)分領(lǐng)域來看，設(shè)備產(chǎn)業(yè)是鏈條最完善、生態(tài)最好的領(lǐng)域。臨港新片區(qū)已落地集成電路設(shè)備整機、零部件及關(guān)鍵耗材企業(yè)有80余家，已覆蓋涂膠顯影設(shè)備、光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、離子注入設(shè)備、清洗設(shè)備、量檢測設(shè)備、后道封裝測試設(shè)備等環(huán)節(jié)，并延伸到閥門、腔體設(shè)備等核心零部件及掩膜版、密封件、靶材、拋光材料等關(guān)鍵耗材領(lǐng)域。