近日，睿勵科學儀器(上海)有限公司（以下簡稱“睿勵科學儀器”）近日完成近5億元戰略融資，本輪融資由金石投資、招商致遠領投，清控金信、河南資產、鼎青投資等資方跟投。

    融資資金將用于高精度光學量檢測系列產品的研發和市場化推廣，豐富公司的產品矩陣，加速擴大生產并加強公司的市場拓展和品牌建設等。

    睿勵科學儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發、生產和銷售具有自主知識產權及核心技術的集成電路芯片制造工藝用的光學量檢測設備。

    2005年，曾任全球大量檢測設備企業研發科學家、研發經理的呂彤欣博士，回國創辦了國內一家專注于集成電路生產前道工藝量檢測設備開發的企業——睿勵科學儀器。公司核心團隊來自行業國際巨頭，專業技術團隊成員大都來自國際前兩名的量檢測設備企業以及國內著名光學技術類公司，擁有多項全自主研發的專利技術。

    睿勵科學儀器總經理楊峰表示：“非常感謝投資方的認可與支持。我們將繼續深耕集成電路芯片生產工藝檢測設備市場，進一步豐富光學量測和光學缺陷檢測產品系列，為實現集成電路前道工藝檢測設備國產化全面替代的目標而努力。”他指出，未來，睿勵科學儀器將持續聚焦在光學量檢測領域，完善膜厚量測、OCD量測、缺陷檢測，開發包括OVL的其他光學量檢測設備。

    金石投資表示，半導體設備是半導體產業的基石，中國半導體產業的蓬勃發展有賴于半導體設備的技術和產品突破，量檢測是其中的關鍵環節。睿勵科學作為中國最早的一批量檢測設備公司，吸引了來自于國內外的頂尖人才，堅持技術創新，聚焦光學技術，我們相信睿勵科學將繼續保持技術和產品領先，幫助先進制程實現國產替代的突破和發展。

    招商致遠表示，半導體量檢測設備面臨巨大的市場空間和國產替代機遇，也具有很高的壁壘。招商致遠看好半導體量檢測賽道，期待睿勵科學憑借優秀的團隊和多年的技術積累和量產經驗，成為該細分賽道的領導者。