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由淺入深 挖掘LCOS技術的點點滴滴

來源:投影時代 更新日期:2008-09-23 作者:靈犀
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LCOS光機原理

    LCOS(Liquid Crystal on Silicon)屬于新型的反射式micro LCD投影技術,它采用涂有液晶硅的CMOS集成電路芯片作為反射式LCD的基片。用先進工藝磨平后鍍上鋁當作反射鏡,形成CMOS基板,然后將CMOS基板與含有透明電極之上的玻璃基板相貼合,再注入液晶封裝而成。LCOS將控制電路放置于顯示裝置的后面,可以提高透光率,從而達到更大的光輸出和更高的分辨率。

下圖是LCOS液晶封裝層次的斷面剖析圖:

    注:cover glass:防護玻璃,ITO Alignment layer:ITO公共電極層[E’lainmEnt]
        Lc material:液晶物質(填充物質)
         spacers 間隔鍍層(為物質鋁)
         CMOS substrate:CMOS基板

    LCOS也可視為LCD的一種,傳統的LCD是做在玻璃基板上,LCOS則是做在硅晶圓上。前者通常用穿透式投射的方式,光利用效率只有3%左右,解析度不易提高;LCOS則采用反射式投射,光利用效率可達80%以上,而且它的最大優勢是可利用目前廣泛使用、便宜的CMOS制作技術來生產,毋需額外的投資,并可隨半導體制程快速的微細化,逐步提高解析度。反觀高溫多晶硅LCD則需要單獨投資設備,而且屬于特殊制程,成本不易降低。LCOS面板的結構有些類似TFT LCD,一樣是在上下二層基板中間分布Spacer以加以隔絕后,再填充液晶于基板間形成光閥,藉由電路的開關以推動液晶分子的旋轉,以決定畫面的明與暗。LCOS面板的上基板是ITO導電玻璃,下基板是涂有液晶硅的CMOS基板,LCOS面板最大的特色在于下基板的材質是單晶硅,因此擁有良好的電子移動率,而且單晶硅可形成較細的線路,因此與現有的LCD及DLP投影面板相比較,LCOS是一種很容易達到高解析度的新型投影技術。

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